标准规范下载简介

GBT 39158-2020 平面显示用高纯铜旋转管靶.pdf

ICS 77.150.30 H62

GB/T 39158—2020

High purity copper rotatable ue target for flat panel display

国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会

空气洁净技术与工程应用第2版 [冯树根 编著] 2013年版.pdfGB/T39158—2020

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有 限公司、沈阳有色金属加工有限公司。 本标准主要起草人：曾浩、罗俊锋、韩知为、贺昕、董艳霞、陈明、熊晓东、曹欢欢、万小勇、林若虚、 袁海军、刘晓、张健、郭娜娜

GB/T39158—2020

平面显示用高纯铜旋转管靶

本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标 志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T1804一2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差 GBT5121.27铜及铜合金化学分析方法第27部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T3474 铜及铜合金平均晶粒度测定方法 YS/T922 高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 YS/T 10002014 铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法

下列术语和定义适用于本文件， 3.1 旋转管靶rotatabletubetarget 一种平板显示领域用的管状靶材。 注：主要用于电子薄膜沉积。 3.2 表面粗糙度 surfaceroughness Ra 加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廊的平均算术偏差值Ra，即在一定测量长度1 范围内，轮廊上各点至中线距离绝对值的平均算术偏差。用下式表示：

GB/T39158—2020

显示用高纯铜旋转管靶的化学成分要求应符合表

GB/T 39158—2020

产品的晶粒度应符合表3的规定，并且晶粒大小分布均匀。需方如有特殊要求时，由供需双 ，并在订货单（或合同）中注明

表3平均晶粒度及允许偏差

产品内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷。单个不连续缺陷天小应不天于0.8mm；25 内多个不连续缺陷大小应不大于0.4mm；长条形不连续缺陷宽度应不大于0.4mm，长度不大于3n

JGT144-2016 门式钢架轻型房屋钢构件5.4外形尺寸及允许偏差

表4外形尺寸及允许偏差

产品表面应清洁光滑，无指痕、油污、锈蚀、伸润滑痕迹、颗粒附加物和其他沾污，并无回坑、划伤、 凸起等缺陷

产品的晶粒度检验按照YS/T347的规定进行

外形尺寸和充许偏差应用相应测量精度的量具进行检测。 未注公差按照GB/T1804—2000中等级m的规定进行检验

产品的表面粗糙度通过粗糙度测量仪，按照加工技术图样标识尺寸进行测量，或按照供需双方约 方法测定

产品的外观质量用目视检查SB／T 10918-2012 屠宰企业实验室建设规范，如发现异常现象，用放大镜或数码显微镜进行鉴别。