GB／T 37959-2019 标准规范下载简介
GB／T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型ICS 35.240.50 L07
1华人民共和国国家标7
GB/T37959—2019
JTS 120-3-2018 临河临湖临海工程航道通航条件影响评价报告编制规定含工艺腔室类集成电路装备
Informationmodelfor containing process chamberIC equipment design
国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会
范围 术语和定义 缩略语 模型体系 4.1含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计过程的一般规定 4.2含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台结构体系 含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计信息模型 5.1 概念模型 5.2要素 5.3 关系
5.2 要素 5.3 关系 5.4 信息模型元素 附录A（资料性附录）含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示
GB/T379592019
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国自动化系统与集成标准化技术委员会（SAC/TC159)归口。 本标准起草单位：中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石 油规划总院。 本标准主要起草人：顾明、程嘉、李丽、季林红、陈莉、曹自立、张颖、黎晓东、王海丹、王峰
GB/T379592019
含工艺腔室类集成电路装备
本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔 室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。 本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件
特征值characteristic values
由仿真结果统计出的能反映设计性能的具有代表性的某些数值。 示例：最小值、最大值、平均值、偏差值等
数密度分布、电子能量分布、力、形变等
4.2含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台结构体
4.2.1软件平台架构
GB/T379592019
软件平台的架构、功能执行方式应如图 部分：用户端、平台端和模块端。三部分可 部署在一台物理机上，亦可部署于不同的物理机上 ，之间通过网络通信传输控制信息和数据。
图1含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台架构
用户端提供用户交互界面，使用户和平台端交互 其功能应包括：接受用户命令信息（如启动、保存等），收集用户设置信息（如参数、流程模板等），并 将上述信息向平台端传输：同时，用户端接收平台端的反馈信息，显示输出给用户
平台端连接用户端和模块端，是整个软件平台的核心控制部分。它的组成部分包括：系统调度管理 PI，数据库，数据存储，实验和优化。其中，系统调度管理API处于核心地位。 平台端的功能应包括：传输上（用户端）下（模块端）游数据、命令信号，控制仿真流程，数据库管理， 存储并传递模块间要传输的文件等。 仿真流程的控制是由仿真流程模板定义的。仿真流程模板是XML文件，该文件保存了一个仿真 流程的完整逻辑关系（包含软件模块、求解逻辑顺序和上下游传输的变量信息）。仿真流程模板可以定 副多个，分别定义不同的建模仿真设计过程， 本标准不限定平台端是否具有实验和优化部分，实验和优化部分旨在提高用户的设计效率，其存在 或使用与否，在功能上不会影响仿真设计系统的正常运行
模块端接受平台端调用，执行应用程序完成仿真流程中的各个步骤（如CAD建模、网格化分、计
求解等）。模块端是由各软件模块组成的，各软件模块的调用有一定的先后顺序，该顺序由平台端根据 仿真流程模板控制。 模块端的功能应包括：软件模块从平台端获得计算参数和所需文件，根据获得的计算参数更新定制 好的软件工具脚本中相关参数，启动软件执行脚本，并在执行结束后向平台端传递后续模块所需文件或 计算结果
含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计信息模
软件平台的核心控制部分 理，实现从上下游接收信息，以及向 传递信息的功能。平台端数据库需包含4个重要的数据集（即4个重要要素）：用户信息、产品 防真流程模板和仿真参数集。平台端数据库概念如图2所示，它阐述了信息模型各组件之间的 是本次发布的规范和未来相关规范的基础
QX／T 499-2019 道路交通电子监控系统防雷技术规范图2平台端数据库概念图
图2列出了四个要素以及要素和要素之间的关系。 四个要素包括用户信息、产品信息、仿真流程模 板和仿真参数集信息。要素与要素之间的关系称为公共关联参数集，主要指明四个要素之间互相关联 折需要的信息， 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示例参见附录A
仿真参数集用于描述仿真过程相关的参数信息，应主要包括： a）仿真模型参数：几何、材料、物性； b）仿真过程参数：仿真边界条件、仿真过程设置条件、仿真输出结果参数； c）仿真过程相关性参数：所属仿真流程、所属产品、所属开发人
5.2.2仿真流程模板
仿真流程模板用于描述定制化的仿真流程信息，应主要包括！
GB/T379592019
GB/Z 42007-2022 跨境电子商务交易服务质量评价仿真过程各模块逻辑关系信息； b) 仿真过程各模块设置参数信息； c) 仿真流程模板对应参数集信息； d) 仿真流程模板对应产品信息； e）仿真流程模板对应所属人信息
仿真过程各模块逻辑关系信息； b) 仿真过程各模块设置参数信息； c) 仿真流程模板对应参数集信息； d） 仿真流程模板对应产品信息； e）仿直流程模板对应所属人信息。