标准规范下载简介
GB／T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法ICS31.200 L 55
GB/T384472020
微机电系统（MEMS）技术
DBJ／T 13-301-2018 旋挖成孔灌注桩技术规程GB/T38447—2020目次前言范围规范性引用文件3术语和定义试验方法4.1总则4.2试验设备4.3试验环境4.4样品要求4.5试验条件4.6试验步骤4.7试验报告附录A（资料性附录）集成激振和检测结构静电器件的试验示例附录B（资料性附录）外部驱动和集成应变结构（检测位移）器件的试验示例附录C（资料性附录）基于帕里斯(Paris)定律和韦伯（Weibull)分布的脆性材料疲劳寿命理论表达式·10附录D（资料性附录)分析示例13参考文献15
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本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336)提出并归口。 本标准起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术 有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。 本标准主要起草人：张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民。
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微机电系统（MEMS）技术
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和 试验步骤。 本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T2298机械振动、冲击与状态监测词汇 GB/T10623金属材料力学性能试验术语 GB/T26111微机电系统（MEMS)技术术语
GB/T2298、GB/T10623、GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 载荷比loadratio 周期加载中最大值和最小值的代数比。 3.2 瞬时破坏强度 instantaneousfailurestrength 静态试验或共振振动试验在快速幅值增长过程中的破坏强度。 3.3 参考强度 referencestrength 静态强度或瞬时破坏强度
试验设备能够对试验结构产生恒定振幅和稳定频率的振动。试验系统由激振器、拾振传感器（以
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简称传感器）、控制器和记录仪器组成。试验系统框图如图1所示。
激振器能在所需方向上对样品施加一定振幅和频率的振荡力。可使用不同种类的激振器，例如 压电、热和电磁激振器等。激振器也可安装在样品中
器能够测量样品的运动以确定样品试验部位的振
控制器可控制激振器产生振荡力，以保持恒定振幅共振振动。根据样品的振动特性，采用下列 方法： a 闭合回路法一一根据传感器测量信号的变化确定试验部位的共振频率，通过闭环电路维持共 振频率。 b）开环控制法一一通过激励试验部位，在预定的共振频率和振荡信号幅度下试验。 在整个试验中，频率和幅度的 寺在所需值的土3%内
记录仪器用于监测和采集试验数据或波形曲
录仪器用于监测和采集试验数据或波形曲线。
温度：15℃~35℃； 相对湿度：20%~80%； 大气压力：86kPa~106kPa
样品在共振频率下，没有其他接近于试验的共振模式
一定应力时，样品有一个试验部位会引起其失效
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样品制备方法应与用于评估目标的 两者的形状、尺寸和结构也相同。 样品应能将一个恒定的、高量级的振幅通过共振施加到试验部位上。 样品中可集成一个机械结构，用于激振或检测样品的振幅。附录A的A.1给出了一种用于激振 则振幅的样品：附录B的B.1给出了一种仅用于检测振幅的样品
GB／T 51357-2019 城市轨道交通通风空气调节与供暖设计标准(完整正版，清晰)试验方法的载荷比为－1
武验方法的载荷比为－1
率为试验部位在共振模式下的频率，或接近它的
试验时间为规定时间或样品的失效时间 根据振动频率，可通过试验循环次数确定试验时间。对于寿命与频率无关的材料，如硅，选择试验 循环次数作为实际器件的应力循环，参见附录C
Q／CR 807-2020 隧道喷射混凝土用液体无碱速凝剂.pdf4.6.1测量参考强度
用于测量参考强度的样品采用与试验部位相同的材料和工艺制成。如果使用不同形状的样品时， 样品表现出与试验部位相同的失效模式，并考虑测量强度的尺寸效应。 可用下列试验之一确定参考强度： a）静态试验一一静态试验中，测量的破坏强度即为参考强度。 瞬时疲劳试验一 瞬时疲劳试验中，最大振幅时的强度为参考强度；当很难使用一个不同形状 的样品或难以施加静态负载时，可使用瞬时疲劳试验方法施加共振频率的振幅，并使振幅迅速