GB/T 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片

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标准编号:GB/T 29508-2013
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资源大小:0.63 MB
标准类别:国家标准
资源ID:172348
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GB/T 29508-2013标准规范下载简介

本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 的硅单晶切割片和磨削片(简称硅片)产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直径300mm 直拉单晶经切割、磨削制备的圆形硅片,产品将进一步加工成抛光片,用于制作集成电路IC用线宽90nm 技术需求的衬底片。

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