JC/T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚

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标准编号:JC/T 1048-2018
文件类型:.pdf
资源大小:1.5M
标准类别:建筑工业标准
资源ID:206762
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JC/T 1048-2018标准规范下载简介

JC/T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚

ICS 81.040.30 Q.35

JC/T1048—2018 代替JC/T1048—2007

Fusedquartzcrucibles for single crystal silicongrowth

中华人民共和国工业和信息化部发布

JC/T 2448-2018 精制方解石粉IC/T10482018

本标准规定了单晶硅生长用石英珀璃(以下简称石英璃)的术语和定又、分类和标记、要求、试验 方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英 。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 JC/T2205石英玻璃术语

C/T2205界定的术语和定义适用于本文件。

按用途分为太阳能级石英(T级)和半导体级石英埚(B级)

5.1.1石英埚的外形示意图见图1。

JC/T 1048—2018

5.1.2石英埚的尺寸偏差应符合表1的规定。

图1石英埚的外形示意图

注:R、r以及特殊规格的石英埔尺寸偏差由供需双方商定

石英埚的端口透明层厚度不小于直壁壁厚的三分之一

石英埚的外观质量应符合表2中的规定。

IC/T 10482018

石英埚的杂质元素含量应符合表3的规定。

表3杂质元素含量要求

变形率应不大于3.0%。

变形率应不大于3.0%。

6.1.1外径偏差和圆度公差

采用分度值不大于0.02mm的游标卡尺测量石英璃端口的外径,测量点不少于3个且分布均匀。 外径最大值减去标称外径所得代数差为外径上偏差,最小值减去标称外径所得代数差为外径下偏差。外 径最大值减最小值所得的差值为圆度公差。

H约10mm处 壁壁厚,测量点不少于4个且分布均匀。最大值减去标 所得代数差为直壁壁厚上偏差GB/Z 41983-2022 液压螺纹插装阀 安装连接尺寸.pdf,最小 值减去标称直壁壁厚所得代数差为直壁壁厚下偏差。 享最大值减最小值所得差值为偏壁值,

6.1.3弯弧壁厚偏差

采用精度不低于0.01mm的超声波测厚仪等同精度的测量器具,测量石英埚弯弧处的壁厚,测量 点不少于4个且分布均匀。最大值减去标称弯弧壁厚所得代数差为弯弧壁厚上偏差,最小值减去标称弯 弧壁厚所得代数差为弯弧壁厚下偏差

GTCC-062-2018 电动转辙机(ZD6系列)-铁路专用产品质量监督抽查检验实施细则6.1.4底部壁厚偏差

采用精度不低于0.01mm的超声波测厚仪等同精度的测量器具,测量石英埚底部的壁厚,测量 于4个。最大值减去标称底部壁厚所得代数差为底部壁厚上偏差,最小值减去标称底部壁厚所得 为底部壁厚下偏差。

JC/T 10482018

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