GB 50781-2012 标准规范下载简介

GB 50781-2012 电子工厂化学品系统工程技术规范(完整清晰双页扫描版).pdf

电子工厂化学品系统工程技术规范 Technical codeforChemical Systemof ElectronicFactory

关于发布国家标准《电子工厂化学品 系统工程技术规范》的公告

现批准《电子工厂化学品系统工程技术规范》为国家标准，编 号为GB50781一2012，自2012年12月1日起实施。其中，第 3.2.8(1、2、3、4)、6.1.2、6.1.5、6.4.2(7)条（款)为强制性条文， 必须严格执行。 本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发 行

1.0.1为使电子工厂化学品供应系统、化学品回收系统及其配套 装置的工程设计、施工及验收，贯彻国家工程建设的政策方针，确 保工程安全可靠、节约能源、保护环境、技术先进、经济适用，制定 本规范 1.0.2本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太 阳能电池等电子工厂生产工艺中的化学品供应系统、化学品回收 系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。 1.0.3本规范不适用于电子工厂中的化学品库房、设备清洗、废 水处理、纯水制备、废气处理等生产辅助和公用设施系统的化学品 系统工程的设计、施工及验收。 1.0.4电子工厂化学品系统工程的设计、施工及验收，除应符合 本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定

某住宅楼工程大模板和竹胶板配合使用施工方案2.1.1化学品系统chemicalsystem

化学品供应系统中用于系统扩充的设置于系统末端的阀箱。 2.1.10取样阀箱 samplingbox (SB) 指化学品管道上用于化学品取样的阀门箱体。 2.1.11泄漏探测器 leakagedetector 用于探测化学品单元、化学品储罐及化学品阀门箱等设备发 生化学品泄漏并给出信号的装置。 2.1.12化学品监控系统 chemical monitor and control system 用来对化学品供应系统，化学品回收系统实现监控、显示、报 警、数据收集等功能的远程监控系统。 2.1.13化学品稀释单元 chemical dilution unit 电子工厂的化学品系统中用纯水稀释高浓度化学品设备的统 称。 2.1.14化学品混合单元 chemical mixing unit 电子工厂的化学品系统中作为混合两种或以上化学品设备的 统称。 2.1.15化学品补充单元 chemical charge unit 槽车的化学品系统备用供应设备。 2.1.16化学品供应单元 chemical transfer unit 向电子工厂工艺系统供应化学品的设备。 2.1.17化学品单元 chemicalunit 化学品供应系统中化学品补充单元、化学品稀释单元、化学品 混合单元、化学品供应单元等柜体的统称。 2.1.18化学品储存、分配间 chemical storage distribution room 电子工业生产厂房或独立建（构）筑物内用于布置化学品储 存、分配设备与系统的房间的统称。 2.1.19液位探测器 level sensor M

2.1.11泄温探测器

一组应为备用； 2稀释单元应按化学品的特性、浓度计精度要求选用测量原 理不同的浓度计； 3稀释单元可根据用量及精度要求选择连续式和批次式系统； 4补充单元的其他设计应符合本规范第3.2.1条的有关规定。 3.2.6可燃溶剂化学品单元应设有热感应及火焰探测器，探测器 信号应与消防系统连接 3.2.7化学品储罐的设计应符合下列规定： 1化学品储罐应采用氮气密封： 2化学品储罐应根据体积大小设置检修口、并宜设检修用不 锈钢爬梯等； 3当采用氮气输送时，化学品储罐应设爆破膜、安全阀等泄 压装置； 4化学品储端应设置液位探测计，并应设有高高、高、低、供 低液位报警，同时应设计可目视的液位计； 5化学品储露外部明最处应表明储靠的编号、化学品名称， 字体高度不应小于40cm； 6化学品储罐应预留必要的管路出入口，并应设排放口及排 放阀。 3.2.8化学品的储存、分配间的液体储罐，应设置溢出保护设施， 并应符合下列规定： 1可燃溶剂储罐区应设置防火堤，防火堤容积应大于堤内量 大储罐的单罐容积； 2酸碱类化学品、腐蚀性化学品液体储罐区应设置防护堤， 防护堤容积应大于堤内最大储罐的单罐容积： 3氧化性、腐蚀性化学品液体与可燃溶剂储罐之间、相互接 触会引起化学反应的可燃溶剂储髓之间应设置隔堤，隔堤容积应 大于隔堤内最大储罐单罐容积的10%； 4防火堤及隔堤应能存受所容纳液体的静压，且不应渗漏；

卧式储罐防火堤的高度不应低于500mm，并应在防火堤适当位置 设置人员进出的踏步： 5防火堤、防护堤、隔堤四周应设置泄漏收集沟，沟内应设置 泄漏收集坑，不同性质的化学品泄漏收集沟不应连通， 3.2.9化学品储存、分配间四周应设置泄漏废液收集沟，沟内应 设置废液收集坑，不同性质的化学品泄漏废液收集沟不应连通。 3.2.10阀门箱的设置应符合下列规定： 1阀门箱内支管数量应按工艺要求确定，宜预留扩充接头， 每一支管应设有切断阀、排液阀： 2阀门箱底部应设泄漏或维修用的排液阀； 3阀门箱应设置排气口，并连接至相应的排气处理系统； 4阀门箱盖宜采用弹簧扣环设计，其承受压力应大于0.01MPa。 3.3化学品供应管道系统 3.3.1化学品供应管道系统布置应满足生产操作、安装及维修的 要求，管道应采用架空敷设。 3.3.2化学品供应管道设计流向应从下往上，化学品配送系统与使 用设备为同一高度，且管路最高点存在死角时，应配备除气泡装置。 3.3.3酸碱类、研磨液、质蚀性溶剂化学品应设计双套管，双套管 的设计应符合下列规定： 1内管不应有焊接头； 2三通、异径管、转接头等焊接部位应设置在箱体内： 3非焊接接头应设置在箱体内。 3.3.4研磨液化学品管道应缩短化学品供应设备到使用点的距 离，并宜减少弯头数量， 3.3.5非腐蚀性溶剂类化学品宜采用不锈钢管道材质，管道连接 应采用氩弧焊自动焊接，非焊接连接点的部位应置于箱体内。 3.3.6管道穿过墙壁或楼板时，应敷设在套管内，套管内的管段 不应有焊缝。管道与套管间应采用不燃材料填塞。

3.3.7管道与阀门、设备连接时，应采用与阀门、设备所配置相同

3,3.7管道与阀门、设备连接时，应采用与阀门、设备所配置相同 的连接方式。

3.4设备与管道材质

表3.4.1化学品供应系统的材质选用

34.2酸碱类、腾蚀性溶剂类化学品管路中的阀门密封，应采用 PFA或PTFE材质，溶剂化学品管路中的阀门密封材料应采用不 与输送介质发生反应的材质

3，4.2酸碱类、腐蚀性落剂类化学品管路中的阀门密封，应采用 PFA或PTFE材质，溶剂化学品管路中的阀门密封材料应采用不 与输送介质发生反应的材质

3.4.3酸碱类化学品的主供应管道应采用内管PFA、外管C PVC的双套管，隔膜阀应采用PFA材质。非腐蚀性溶剂化学品 的主供应管道应采用SUS316LEP管，腐蚀性溶剂化学品的主供 应管路应采用内管PFA、外管SUS304的双套管，隔膜阀应采用 SUS316L

3.5.1化学品管道标识形状应为长方形，底色应为日色，上面应 用不同颜色箭头表示化学品种类与流向，箭头中央应采用黑色宋 体字写明其中文名称以及分子式。 3.5.2酸碱类化学品宜采用白底黄色箭头，研磨液类化学品宜采 用白底黄色箭头，溶剂类化学品宜采用白底红色箭头。 3.5.3化学品供应管道的管道标识应符合下列规定： 1管径等于或小于DN25的管道应每2m～4m设计一个标 识； 2管径大于DN25的管道应每4m～6m设计一个标识； 3两个设备间的管道宜设计一个标识； 4组装箱、转弯及离墙30cm处应设计标识； 5管道的标识应设于管道外侧的位置。 3.5.4管道标识还应符合现行国家标准《工业管道的基本识别 负识别等合和安全标识3GB7231的有关规定

沟内应设置废液收集池，不同性质的化学品回收设备应布置在不 同的防护堤内， 4.2.4化学品回收设备的其他设计应符合本规范第3.2节的有 关规定。 4.3化学品回收管道 4.3.1化学品回收系统管道布置应满足生产操作、安装及维修 的要求，管道宜采用架空敷设。 4.3.2化学品回收系统管道流向应从上到下，并应为重力流。排 放设备与化学品回收系统之间无法实现重力流排放时，应增加中 间储槽，并应采用泵送方式将中间储槽的化学品输送至最终收集 槽。 4.3.3化学品回收管道的其他设计应符合本规范第3.3节的有 关规定

5.3.1化学品监控系统的设置应符合下列要求：

6.1.1布置于生产厂房内的甲、乙类化学品间的耐火等级不应低

1安全出口不应少于两个，且应布置在不同方向，门应向疏 散方向开启： 2相邻两个安全出口最近边缘之间的水平距离不应小于 5.0m，其中一个应直通室外，通向疏散走道的门应满足防火及 防爆要求； 3房间面积小于或等于100m、且同一时间的生产人数不超 过5人时，可设置一个直接通往室外的出口； 4溶剂房间的门窗应采用撞击时不产生火花的材料制作； 5溶剂房间应采用不发生火花的地面。 6.1.4易燃易爆溶剂化学品和氧化性化学品储存、分配间与其他 房间之间，应采用3.0h实体防火墙和耐火极限不低于1.5h的不 燃烧体楼板与其他部分隔开，实体防火墙上不得开设门窗洞口；当 设置双门斗相通时，门应错位布置，应采用甲级防火门。 6.1.5化学品监控及安全系统集中控制室应设置在独立的房间 内：当与易燃易爆溶剂化学品储存、分配间、回收间等相邻时，控制 室的设计应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设 计规范》GB50058的有关规定。

6.1.6化学品储存、分配间的高度应满足设备与 L 求，且不宜低于4.5m， 6.1.7化学品储存、分配间的地面、门窗、墙面宜采取防腐蚀的设 计措施。 6.1.8化学品间内的装修材料应符合现行国家标准《建筑内部装 修设计防火规范》GB50222的有关规定。 6.1.9生产厂房及独立的化学品储存、分配间外的化学品供应槽 车灌充区域四周应设置地沟，槽车停放地面及四周的地沟内应进 行防腐蚀设计。

6.2电气与仪表控制

6.2.1配电与照明应符合下列规定

1化学品间的电力负荷等级应符合下列规定： 1)化学品间电力设备的负荷等级应与主厂房的最高负荷等 级相同； 2)化学品检测与控制系统为一级负荷，并应配置UPS不间 断电源。 2易燃易爆溶剂化学品间的爆炸性气体环境内的电气设施 应按2区设防，并应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力 装置设计规范》GB50058的有关规定。 3化学品间的照明灯具宜安装在操作与维修通道处，不宜安 装在设备正上方，并应设置备用照明。 4化学品间的电气设备应进行防腐蚀设计。 6.2.2防雷与接地设计应符合下列规定： 1排放易燃易爆溶剂化学品气体的排风管的管口应处于接 闪器的保护范围内，并应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规 范》GB50057的有关规定； 2架空敷设的易燃易爆溶剂化学品管道，在进出建筑物处应 与防雷电感应的接地装置相连；距建筑物100m内的化学品管道

1化学品间的电力负荷等级应符合下列规定： 1)化学品间电力设备的负荷等级应与主厂房的最高负荷等 级相同； 2)化学品检测与控制系统为一级负荷，并应配置UPS不间 断电源。 2易燃易爆溶剂化学品间的爆炸性气体环境内的电气设施 应按2区设防，并应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力 装置设计规范》GB50058的有关规定。 3化学品间的照明灯具宜安装在操作与维修通道处，不宜安 装在设备正上方，并应设置备用照明。 4化学品间的电气设备应进行防腐蚀设计。 6.2.2防雷与接地设计应符合下列规定： 1排放易燃易爆溶剂化学品气体的排风管的管口应处于接 闪器的保护范围内，并应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规 范》GB50057的有关规定； 2架空敷设的易燃易爆溶剂化学品管道，在进出建筑物处应 与防雷电感应的接地装置相连；距建筑物100m内的化学品管道，

宜每隔25m接地一次，其接地电阻不应大于20Q； 3易燃易爆溶剂化学品、氧化性化学品设备与管道应采取防 静电接地措施，应在进出建筑物处、不同分区的环境边界、管道分 岔处及直管段每隔50m~80m处防静电接地一次； 4设备或管道的接地端子与地线系统之间，可采用螺栓紧固 连接：对有震动、位移的设备和管道，连接处应加挑性连接线过渡： 5化学品系统的电气设备工作接地、保护接地、雷电保护接 地，以及防静电接地等不同用途接地采用联合接地方式时《洪涝灾害农村住房安全应急预案(暂行)》和《洪涝灾区农村住房安全应急评估指南(暂行)》（建办村函[2021]354号：住房和城乡建设部办公厅2021年8月31日）.pdf，接地装 置的接地电阻值应按其中的最小值确定： 6防静电接地为单独接地时每组接地电阻不应大于100Q。

6.3给水排水及消防

6.3.1给水排水设计应符合下列规定

1穿过化学品储存、分配间的水管道，应按水温和所在房间 的湿度与温度要求采取隔热防结露措施； 2化学品系统排出的废水应排入废水处理站处理达标后排 放； 3腐蚀性化学品间应设置紧急淋浴器和洗眼器。 6.3.2消防设计应符合下列规定： 1化学品储存、分配间室内外消火栓的设计应符合现行国家 标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定； 2化学品储存、分配间应配置灭火器，配置应符合现行国家 标准《建筑灭火器配置规范》GB50140的有关规定； 3易燃易爆溶剂化学品储存、分配间应设置固定式灭火系 统，其喷淋强度不应小于8.0L/（min·m），保护面积不应小于 160m，并应符合现行国家标准《自动喷水灭火系统设计规范》GB 50084的有关规定； 4化学品储存、分配间存储的化学品与水可发生剧烈反应 时，该化学品储存、分配间不得采用水消防系统

6.4.1通风设计应符合下列规定

1化学品间应设置连续的机械通风或自然通风系统，风量应 满足化学品桶槽的排风量要求，并应满足房间最小通风换气次数 不低于每小时6次的要求。 2化学品桶槽和阀门箱应设置机械排风装置。 3凡属下列情况之一时，化学品间应分别设置排风系统： 1)两种或两种以上的化学品挥发气体混合后能引起燃烧或 爆炸时； 2)化学品挥发气体混合后发生化学反应，形成更大危害性 或腐蚀性的混合物、化合物时； 3）混合后形成粉尘。 4化学品间应设置事故通风，事故通风量宜根据事故泄漏量 计算确定，且房间换气次数不应小于每小时12次，并应在化学品 房间外设置事故通风紧急按钮。 5化学品间的排风管道应采用不燃材料制作。 6化学品桶槽、阀门箱的排风口与主排风管道连接的支管应 采用刚性风管GB／T 39904-2021 区域品牌培育与建设指南.pdf，不得使用柔性风管或软管。 7化学品间排风，应根据排风的危害性和浓度设置处理装 置。 8化学品间通风系统应设置备用机组，化学品间通风系统电 源应设置应急电源， 9易燃易爆溶剂化学品和氧化性化学品的排风管应设置防 静电接地装置。 10化学品间排风系统不得与火灾报警系统联动控制，火灾 发生时，严禁关闭排风系统。 5.4.2空调设计应符合下列规定： 1化学品间宜设置空调系统，室内温度、湿度设计参数应满

足化学品桶槽的要求。无具体要求时，室内温度宜为23℃士3℃： 相对湿度宜为30%~70%； 2空调风管不应穿越化学品间之间的分隔墙；必须穿越时， 应安装防火阀： 3空调系统宜设置备用空调机组，也可采取保证在空调机组 维护或故障时能满足化学品间的通风需求的措施； 4空调系统宜设置应急电源； 5化学品间空调风管应采用不燃材料制作，保温应采用不燃 成难燃材料： 6空调风管应设置防静电接地装置； 7易燃易爆溶剂化学品间不得采用循环空气空调系统