标准规范下载简介

GBT 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

ICS.01.040.39 N10

GB/T 38614—2020

JTS 124-2019 航道保护范围划定技术规定基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的

Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator

国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会

范围 规范性引用文件 术语和定义 测量条件 测量仪器 测量方法 6.1 轴向行程 6.2 准确度 6.3 单向重复定位精度 6.4 双向重复定位精度 6.5 迟滞误差 6.6 线性度 6.7 位移分辨力 6.8 角摆偏差 6.9 直线度 6.10 平面度 6.11 正交误差

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会（SAC/TC153）提出并归口。 本标准起草单位：沈阳建筑大学、三英精控（天津）仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科 学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学。 本标准主要起草人：须颖、戴敬、邵萌、安冬、施玉书、贾静、戴超、文杰、石怀涛

基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的

本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测 量条件、测量系统和测量方法。 本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T11336—2004直线度误差检测 GB/T38616一2020纳米定位与扫描平台术语

GB/T38616一2020界定的术语和定义适用

平台的测量应满足如下条件： a）测量场地应无影响测量精度的灰尘、振动、气流扰动和较强磁场； b) 测量时的环境温度为（20士1)℃，其变化应不大于0.5℃/h； C 测量时的环境相对湿度为（505）%； 测量前应确认平台无影响测量正确性实施和测量结果的外观缺陷； 测量时平台处于正常工作状态

平台的测量应满足如下条件： a）测量场地应无影响测量精度的灰尘、振动、气流扰动和较强磁场； b）测量时的环境温度为（20士1)℃，其变化应不大于0.5℃/h； c）测量时的环境相对湿度为（50士5）%； d）测量前应确认平台无影响测量正确性实施和测量结果的外观缺陷； e）测量时平台处于正常工作状态

本标准中推荐使用激光干涉仪（以下简称干涉仪），角摆偏差也可使用自准直仪，测量仪器精度应满 足测量要求。

严格对准平台，按照以下步骤进行轴向行程测量！

a）特平合移动全行程反回极限位置 量读数清零； b）将平台移动至行程正向极限位置，记录干涉仪测量值； c）重复步骤a)和步骤b)不应少于3次

轴向行程T，按式（1)计算：

式中： T,—平台第j次轴向行程测量值； n——测量次数，n≥3。

式中： T,———平台第i次轴向行程测量值；

将干涉仪严格对准平台，按照以下步骤进行准确度测量： a）按图1所示，在全行程平均分布11个测量位置，分别为p：（i=1,2，，11），其中p1为行程反 向极限位置，力11为行程正向极限位置； b） 将平台移动至第1个测量位置P1，干涉仪测量读数清零； C 将平台从P开始依次定位到p2P3，"，P11，在每个位置稳定后记录该位置的干涉仪测量值 d）重复步骤b）和步骤c)不应少干5次

第i个测量位置的准确度A，.按式(2)计算

式中： Pij 平台第i个测量位置的第讠次测量值： 1 平台第i个测量位置的目标值； 测量次数，n≥5。 取A=max(A）为平台被测轴的准确度

6.3单向重复定位精度

单向重复定位精度计算过程如下：

图1单向测量位置行程示意图

(i=1,2,...,11)

a）按式（3)确定第i个测量位置的正向平均测量值P：←：

P，；个——平台第i个测量位置的第i次正向测量值； 一测量次数DB34／T 3094-2018 课桌椅生产与安装质量验收规范，n≥10。 b）第i个测量位置的正向重复定位精度R：←，按式（4)计算：

ZP, + P,+ (i=1,2,...,11)

(i=1,2,..,11) .3

式中： P；个一平台第i个测量位置的第j次正向测量值； P，个——平台第i个测量位置的正向平均测量值P：个； 测量次数，n10。 取R+=max(R：↑）为平台被测轴的正向重复定位精度。 注：本标准中仅规定了正向重复定位精度的测量方法，反向重复定位精度的测量方法参照正向重复定位精度。

6.4双向重复定位精度

将十涉仪严格对准平台，按照以下步骤进行双向重复定位精度测量： a 按图2所示，在全行程平均分布11个测量位置，分别为p；（i=1,2，，11），其中p为行程反 向极限位置，力1为行程正向极限位置； b 将平台移动至第1个测量位置力1，十涉仪测量读数清零： 将平台从P,开始依次正向定位到P2Ps，"，P11，再从P11开始依次反向定位到P10，P。，*". 力1，在每个位置稳定后记录该位置的干涉仪测量值； d 重复步骤c）不应少于6次

GTCC-016-2018 铁路混凝土桥梁梁端防水装置-铁路专用产品质量监督抽查检验实施细则图2双向测量位置行程示意图

双向重复定位精度计算过程如下： 由于第一次测量误差较大，在进行双向重复定位精度数据处理时将第一次测量数据去掉，取 m=n一1,其中n为测量次数。 b）按式（5)确定第i个测量位置的双向平均测量值P：