T∕CEMIA 004-2018 光伏单晶硅生长用石英坩埚.pdf

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标准类别:电力标准
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T∕CEMIA 004-2018 光伏单晶硅生长用石英坩埚.pdf

中国电子材料行业协会 发布

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国电子材料行业协会提出并归口。 本标准主要起草单位:内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司。 本标准参加起草单位:锦州佑鑫石英科技有限公司、宁波宝斯达埚保温制品有限公司、江苏华尔 石英材料股份有限公司、宁晋晶兴电子材料有限公司、河北硕日石英制品有限公司、常州裕能石英科技 有限公司、江阴龙源石英制品有限公司、北京雅博石光照明器材有限公司、江苏太平洋石英股份有限公 司、南通路博石英材料股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司。 本标准主要起草人:于宏宇、祝立君、苏光都、李宗辉、杜兴林、陈曼、王文庆、王君伟、范玉华、贾建亮 朱旦、徐晓军、赵振生、司继成、李秀英、周锐

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国电子材料行业协会提出并归口。 本标准主要起草单位:内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司。 本标准参加起草单位:锦州佑鑫石英科技有限公司、宁波宝斯达埚保温制品有限公司、江苏华尔 石英材料股份有限公司、宁晋晶兴电子材料有限公司、河北硕日石英制品有限公司、常州裕能石英科技 有限公司、江阴龙源石英制品有限公司、北京雅博石光照明器材有限公司、江苏太平洋石英股份有限公 司、南通路博石英材料股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司。 本标准主要起草人:于宏宇、祝立君、苏光都、李宗辉、杜兴林、陈曼、王文庆、王君伟、范玉华、贾建亮、 朱旦、徐晓军、赵振生、司继成、李秀英、周锐

光伏单晶硅生长用石英

公路桥梁某标段工程施工组织设计安全风险评估指南光伏单晶硅生长用石英璃

按石英埚外径不同分为D≤22"、D>22"两种、 具体尺寸由供需双方确定

按石英埚外径不同分为D≤22”、D>22"两 具体尺寸由供需双方确定

L/CEMIA 0042018

5.3.1杂质元素含量

6.1.1外径公差与圆度公差

我面上最大与最小外径之差,取其中的大数为圆度公差

6.1.2壁厚公差与偏壁值

采用分度值不大于0.2mm的超声波测厚仪,在图1所示W,、W的位置测量埚壁厚,同一圆周 上的测量点不少于3个。最大壁厚与标称壁厚之差为壁厚上偏差,最小壁厚与标称壁厚之差为壁厚下 偏差。同一横截面上最大值与最小值之差,取其中的大数为偏壁值

将璃端口朝下置于精度等级 采用分度值不大于0.02mm的高度 量埚外表面底部中心处与检测平台的垂直距离,即为高度。测量高度时,高度尺测量爪必须

中心点,且通过直径才能找到中心点测出最高点。最大高度与标称高度之差为高度上偏差,最小高 度与标称高度之差为高度下偏差

将埚端口及相同弧度的标准卡板开口朝下,卡板中心点对准埚外表面底部中心处(图1所示 W;位置),使用分度值不大于0.5mm的直尺,分别测量标准卡板与埚外表面半径为r的圆弧和半径 为R的圆弧弧度范围内的最大间距,即为埚的弧度间隙

6.1.5透明层厚度公差

将璃端口朝上或朝水平方向置于检测平台上(端口朝上时测量图1所示W,、W:位置,端口朝水 平方向时测量图1所示W,、W2、W,位置),放置石英砂于内表面待测位置作为参照物,采用透明层 则厚仪对准石英砂进行对焦,焦点即为透明层零点,此时将测厚仪读数归零。旋转镜头向透明层内调 在图1所示W,、W、W V:、W:位置测量透明层厚度,每个位置测 的两个点。最大透明层厚度与标称透明层厚度 之差为透明层厚度上偏差,最小透明层厚度

缺陷尺寸采用分度值不大于0.02mm的游标卡尺进行测量。必要时在带刻度的显微镜下进行测量

在显微镜下测量微气泡。镜头放大倍数为100倍,光照强度为10001m,石英埚为干燥状态。测 量步骤如下: 如图1所示,分别选择W,、W处对称的两点和W,处作为测量点,共计5个测量点; 将镜头对准一个测量点,进行对焦,完成对焦的测量点为零点; C) 旋转镜头向透明层内探测,分别在0.1mm、0.5mm、1.0mm、1.5mm、2.0mm深度处拍摄 图片; d 重复b)、c)的操作,完成其他测量点的拍照; e) 计算每张图片中的气泡数量,选择气泡数量最多的图片并按式(1)计算石英埚的微气泡 密度

在显微镜下测量微气泡。镜头放大倍数为100倍,光照强度为10001m,石英埚为干燥状态。测 步骤如下: 如图1所示,分别选择W,、W处对称的两点和W,处作为测量点,共计5个测量点; 将镜头对准一个测量点,进行对焦,完成对焦的测量点为零点; 旋转镜头向透明层内探测,分别在0.1mm、0.5mm、1.0mm、1.5mm、2.0mm深度处拍摄 图片; 重复b)、c)的操作,完成其他测量点的拍照; 计算每张图片中的气泡数量,选择气泡数量最多的图片并按式(1)计算石英埚的微气泡 密度。

0 微气泡密度,单位为个每平方毫米(个/mm²); A一—气泡数量最多的图片中的气泡数量,单位为个; 与A对应的面积之和,单位为平方毫米(mm²)

从石英直壁上切取50mmX50mm原壁厚试样3块,试样切口处用碳化硅(W10)磨平 有缺口及崩口。用10%~15%分析纯盐酸浸泡试样10min,然后分别用去离子水、无水乙醇清深 脂棉擦净,操作过程中不得直接触摸样品。将试样于1500℃士10℃下恒温6h,冷却至室温

从石英埚直壁上纵向切取180mm×20mm原壁厚试样3块,样品处理方法按6.5的规定。将 式样水平置于跨距为130mm的耐热支架上,在样品中部放置2g士0.2g(直径为15mm~20mm,长 度为15mm~20mm)的石英半管,并使试样与石英半管接触面积最小。放入高温炉中,于1500℃士 10℃下恒温1h,在高温炉中自然冷却至室温后取出试样。测量试样的拱高变化值△H,并按式(2)计 算高温变形率

高温变形率; AH 试样的拱高变化值花岗岩铺装工程施工组织设计,单位为毫米(mm)

险验、型式检验的项目技术要求及其试验方法应

表5检验项目技术要求及试验方法

T/CEMIA004—2018

以同批原料、相同工艺生产的同种规格的甘据为一批

7.4.3.2不合格处理

尚品华庭砖混住宅楼施工组织设计标志、包装、运输、储存

每个包装霜外应标明"防潮”“朝上”“小心轻放/易碎”等字样及堆码层数或图形标识以及产品名和 品标记、生产日期、厂名或商标。

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