SJ／T 11576-2016标准规范下载简介
SJ／T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范SJ/T115762016
GeneralSpecificationforSprayCoatingEquipment
DL／T5110《水电水利工程模板施工规范》SJ/T 115762016
SJ/T 115762016
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GB/T2900.1和SJ/T11183界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 喷雾式涂覆设备spraycoatingequipment 在半导体器件及其它产品生产过程中，将液体雾化并以一定的压力通过喷嘴喷出，在基片表面形成 均匀的胶液层，并进行相应的处理，以实现基片表面在相应工艺前形成胶膜的基片处理设备。 3.2 雾化喷嘴spraynozzle 将喷涂液体雾化成微小颗粒，并按特定方式喷出的部件。 3.3 状态扫描mapping
GB/T2900.1和S.I/T11183界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
4.1.1按自动化程度可分为：
a）全自动喷雾涂覆设备：盒站上片后，按照工艺配方自动地实现全部工艺过程的设备。 b）半自动喷雾涂覆设备：手动上片、取片，按照工艺配方自动实现全部工艺过程的设备 1.2按加工基片几何形状可分为：
产品型号应符合S.I/T37的规定。
喷雾式涂覆设备产品应给出以下参数： a）电源电压，单位为V； b）电源频率，单位为Hz:
喷雾式涂覆设备产品应给出以下参数： a）电源电压，单位为V； b）电源频率，单位为Hz:
基片尺寸，单位为mm； 承片台真空压力，单位为kPa； 主轴电机转速，单位为r/min； 主轴电机加速度，单位为rpm/s； 热盘温度及温度均匀度，单位为℃； 冷盘温度及温度均匀度，单位为℃； i）AD盘温度及温度均匀度，单位为℃； j）AD腔体真空值，单位为kPa； 胶膜厚度及均匀性，单位为μm 喷嘴气体压力，单位为MPa。
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5.1.6冷却水条件应符合SJ/T142—1996中4.1.4的要求。
5.2.1设备应符合本规范的规定，并按规定程序批准的图样及技术文件制造。 5.2.2设备的机械装配技术要求符合SJ/T1552的要求。 5.2.3设备的电气装配技术要求应符合SJ20385A一2008的要求。 5.2.4设备中的机械、电气方面的配套件应符合相应标准的要求。
5.3.1设备的表面应没有较明显的机械损伤。 5.3.2各种管路的颜色应符合SJ/T1635的要求。 5.3.3各种管路应排列整齐，固定牢固，不应折叠
5.4.1设备应有可靠的接地装置，并有明显的接地标志
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5.4.4设备应按GB5226.1一2008中10.7的规定，安装急停按钮操作开关。
5.4.4设备应按GB5226.1一2008中10.7的规定，安装急停按钮操作开关。
5.5废气、废液排放装置
5. 6 保护与报警功能
5.8.4承片台装配精度
5.8.5承片台吸附压力
承片台上有基片且旋转时，承片台吸附压力应不
有基片且旋转时，承片台吸附压力应不低于40k
5.8.6承片台温控精度
GB／T 14267-2009 光电测距仪.pdf5.8.7热盘温控精度及均匀度
～120℃，温控精度应不低于土0.6 均匀度≤0.6℃；温控范围在121℃～150℃，温控精度应不低于±1℃，温度均匀度≤1 空范围在151℃～180℃，温控精度应不低于±2℃，温度均匀度≤2℃
5.8.8冷盘温控精度及均匀度
5.8.9AD腔体真空度及盘面温控要求
《湖南省绿色建筑工程设计要点（试行）》《湖南省绿色建筑工程技术审查要点（试行）》（湘建科函[2019]181号 湖南省住房和城乡建设厅2019年8月）SJ/T115762016
AD腔体应具有一定的真空压力，真空度应大于40kPa；腔体内热盘温控范围在100℃～150 控，温控精度应不低于±1℃。