标准规范下载简介
真空技术与设备国家标准汇编（2017年版）5.1.1试验条件如下
真空压力测试应在专用真空压力测试台上进行； 所用真空计应与设备本身配套并在有效期内； 充许在抽气过程中用设备本身配有的加热装置在规定的温度范围内对真空室进行
Q／GDW 13001-2014 高海拔外绝缘配置技术规范5.1.2测试方法如下
分别将被检件法兰端面与测试台连接法兰 理十净，并均匀涂抹一层真空密封脂： 将O形橡胶密封圈表面均匀涂抹一层真空密封脂后嵌入被检件法兰端面（或测试台连接法兰 端面）的静密封槽内；O形橡胶密封圈的外观质量应符合GB/T3452.2一2007中S级的规定 其型式、尺寸及公差应符合GB/T3452.1一2005中S级的规定；将被检件法兰端面与测试台 法兰端面连接并锁紧； C 启动测试台真空抽气系统，保持在30min内压力变化值不超过规定压力值的5%，在此期间记 录测量仪表所示读数，将最小值作为被检件的可承载真空压力值；此时，密封部位的旋转速度 应与被检件的要求一致； d 密封件的真空压力测试原理如图1所示
B/T 322922015
a 将被检件置于压力测试台并用专用胎具锁紧； b） 将压力气体通过测试台专用止回阀渐次注入，至压力表读数超过规定压力值的5%时停止加 气，并记录时间；此时，密封部位的旋转速度应与被检件的要求一致； ） 30min后，压力表读数无变化或下降到规定数值后不再下降，则判定为被检件可承载压差值； d 密封件的压差测试原理如图1所示
5.3漏率（总漏率）测证
5.3漏率（总漏率）测试
5.3.1试验条件如下：
a）漏率应在以氨质谱检漏仪为主体组成的检漏系统中进行，该系统包括检漏仪、标准漏孔、测试
GB/T322922015
b） 检漏仪的最小可检漏率应满足被检测密封件漏率测试要求； ） 标准漏孔应在校准或检定有效期内； 氨气应满足GB/T4844合格品的要求； e 试样罩应选用对氨渗透系数小的材料制作。 测试方法如下： a 分别将被检件法兰端面与测试台连接法兰端面清理干净，并均匀涂抹一层真空密封脂； 将O形橡胶密封圈表面均匀涂抹一层真空密封脂后嵌人被检件法兰端面（或测试台连接法兰 端面)的静密封槽内；O形橡胶密封圈的外观质量应符合GB/T3452.2一2007S级的规定，其 型式、尺寸及公差应符合GB/T3452.1一2005S级的规定； ） 将被检件法兰端面与测试台法兰端面连接并抽真空，密封部位的旋转速度应与被检件的要求 一致； 启动检漏仪，使检漏仪处于检漏工作状态； e） 用试样罩罩住被检件，待检漏仪输出指示稳定后向试样罩内吹入气； 吹入氮气后检漏仪的输出指示值减去吹氨前的本底值即为被检件的漏率； 密封件的漏率测试原理如图1所示
5.3.2测试方法如下：
真空压力测试及漏率（总漏率）测试原理简图如图1所示
6.1.1每件密封件应经制造厂检验部门检验合格后方能出厂，并附有密封件质量合格证， 6.1.2出厂检验内容为4.2～4.7中包含的全部项目内容。 6.1.3成批次出厂时（同一型号规格密封件出厂检验数不少于10件），允许对4.5、4.7包含的项目内容 实施抽样检查，抽样数量不低于该批次的10%（不少于2件），如有一项不合格则应重新抽取加倍数量 的密封件进行复查，如仍有不合格者，则进行逐件检查
6.2.1在下列情况下应进行型式试验
2.1在下列情况下应进行型式试验： a）试制的新密封件； b 密封件在设计、工艺或所用材料有重大变更时； c 同类密封件评比定级时。 2.2型式检验内容为第4章中包含的全部项目内容。
标志、包装、购存和运输
每件产品应在明显位置标示产品标牌。标牌应符合GB/T13306的规定，其上至少应注明 a）产品型号及名称； b）产品出厂编号及制造日期：
2.1包装箱应坚固牢靠，保证箱内产品在正常运输过程中不受损伤。 2.2包装出厂时应随产品附带下列文件： a）产品检验合格证； 产品安装使用说明书； 装箱单
产品应贮存在于燥、通风良好的室内
ICS23.160 L78
GB/T32293—2015
VacuumtechnologySelectionofleaktestmethodsforvacuumequ
GB/T32293—2015
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：北京卫星环境工程研究所、中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所、安徽 院仪科技股份有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、中山凯旋真 空技术工程有限公司、威海智德真空科技有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研 充所。 本标准主要起草人：孙立臣、史纪军、李得天、刘恩均、汪力、闫荣鑫、张春元、孙刚、陈光奇、刘磊 黄文平、赵伟胜、赵计春、言继春、王功发、言润泉、高峰、胡双丽、林乐忠、王长明、王玲玲
本标准按照GB/T11一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：北京卫星环境工程研究所、中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所、安徽 院仪科技股份有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、中山凯旋真 空技术工程有限公司、威海智德真空科技有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研 所。 本标准主要起草人：孙立臣、史纪军、李得天、刘恩均、汪力、闫荣鑫、张春元、孙刚、陈光奇、刘磊、 黄文平、赵伟胜、赵计春、言继春、王功发、言润泉、高峰、胡双丽、林乐忠、王长明、王玲玲，
真空技术真空设备的检漏方法选择
技术真空设备的检漏方法选
建议进行检漏方法选择的人员具备GB/T9445所要求的2级或2级以上资格
建议进行检漏方法选择的人员具备GB/T9445所要求的2级或2级以上资格
GB/T 32293—2015
检漏方法应包括基础检漏方法和应用技术两部分， 示例：氮质谱真空护罩法的基础方法是氨质谱真空法，应用技术是护罩技术
选择检漏方法时应综合考虑有效最小可检漏率、检漏技术条件、安全因素和经济因素。 一许湿
5.3.1允许漏率的组成
真空设备所有有密封要求的组成部分及连接处的漏率之和组成真空设备的允许漏率，且应不大于 真空设备的允许漏率。
允许漏率应与真空设备的功能和工作条件相符，并明确检漏条件。主要的检漏条件有： a）温度； b）压力； ）示踪介质。
检漏条件应与真空设备的工作条件一致。如无法满足，可按附录A修正漏
5.4.2泄漏稳定时间
真空设备在检漏时应洁净、去污，避免污染物堵塞漏孔。典型的污染物来源有： a）碎屑； b）灰尘； c）油污； d）焊渣； e）油漆标记； f 表面腐蚀。
真空设备常用检漏方法及主要特征参数见附录B，常用基础检漏方法有
GB/T322932015
质谱法、声学法、高压放电法、传感器检漏法、流量计法等其他检漏方法也可用于真空 法和特征参数见附录C。
8.1确定检漏方法选择条件
真空设备检漏方法的类型包括： 组）定性检漏； b）定量检漏； c）定位检漏。
8.1.2主要技术条件
真空设备检漏方法选择的主要技术条件包括： a）真空设备的允许漏率； b）真空设备的承压特性
图1真空设备的检漏方法选择程序
GB/T32293—2015
8.1.3检漏实施条件
真空设备检漏方法选择的主要实施条件包括： a）检漏实施的影响； b）大 是否具备检测仪器； 是否具备示踪介质； d 真空设备外形和密封结构； 示踪介质与真空设备材料的相容性； 检漏方法要求的工艺措施与真空设备工艺的匹配性； g）检漏所处阶段
3.2初步选择检漏方法
8.2.1与检漏类型相关的选择
与检漏类型相关的选择，应遵循： a）需要测量真空设备的漏孔、局部或总体漏率时，选择定量检漏的方法； D 基于比对原理的定量检漏方法，应包含必要的检漏系统校准程序； c）当真空设备漏率不满足密封性能要求、存在不可接受漏孔且有修复需求时选择定位检漏方法； d）一般情况下，定位检漏方法、定量检漏方法可用作定性检漏，定位检漏方法不能直接用于定量 检漏，用于局部区域的定量检漏方法可用作定位检漏
8.2.2与主要技术条件相关的选择
与主要技术条件相关的选择，应遵循： a）所选检漏方法的有效最小可检漏率不应大于允许漏率的1/10； b）所施加的检漏压力不应大于真空设备的工作压力； c）所施加的检漏压力的方向、大小应与真空设备在工作条件下的压力状态一致。
8.2.3与检漏实施条件相关的选择
与检漏实施条件相关的选择，应遵循： a 检漏方法实施后不应给真空设备、检测仪器、实施人员带来不可接受影响； 在选择检测仪器时，应优先考虑利用真空设备本身或现场可用于检漏的检测仪器进行检漏： 在选择示踪介质时，应优先考虑利用真空设备工作介质或预置的可用手检漏的示踪介质进行 检漏，其次考虑检漏方法本身使用的示踪介质进行检漏； d） 检漏方法应满足真空设备的外形结构、密封结构对检漏实施的要求，便于实施检漏； e 检漏方法所采用的示踪介质应与被检真空设备相容，不与其材料发生反应； 检漏方法表面处理的工艺应与被检真空设备的要求相匹配； 在真空设备生产阶段，可适当提高密封性能要求，减小组件的允许漏率
从安全因素、环境因素和经济因素等方面，对初步选择的检漏方法进行综合评价，优先选 小、环境污染小、经济的检漏方法
GB/T322932015
所选检漏方法施加的检漏压力不应超过真空设备的允许压力，避免人员伤害或设备损坏。 含有液氮冷的真空设备，检漏时应遵守规定的放空程序
对所有气体的操作都须谨慎，应考虑气体的性 如室息、有毒等
GB/T32293—2015
附录A （规范性附录） 不同检漏条件的漏率修正
分子漏孔，在不同压力下的漏率按式（A.1)计
q2 漏孔在第2种压力状态下的漏率，单位为帕立方米每秒（Pa·m"/s)； q1 漏孔在第1种压力状态下的漏率，单位为帕立方米每秒（Pa·m"/s)； PAI 漏孔在第1种压力状态下出口压力，单位为帕（Pa）； PA2 漏孔在第2种压力状态下出口压力，单位为帕（Pa)； PBI 漏孔在第1种压力状态下入口压力，单位为帕（Pa）； 力 漏孔在第2种压力状态下入口压力，单位为帕（Pa）
对于黏滞漏孔，在不同压力下的漏率按式（A.2)计算：
寸于分子漏孔，在不同温度下的漏率按式（A.3）
(B2—A2) p2P2 q2=q1 Q1 Apip ..(A.2 ()
qT2 对应在温度T2下的漏率，单位为帕立方米每秒（Pa·m"/s）； 对应在温度T下的漏率，单位为帕立方米每秒（Pa·m"/s）： T2一气体在第2种状态下的热力学温度，单位为开尔文（K)； T 气体在第1种状态下的热力学温度，单位为开尔文（K）
寸于黏滞漏孔，在不同温度下的漏率按式（A.4）
T1 气体在T，温度下的气体动力黏度，单位为帕秒（Pa·s）； 7T2 气体在T，温度下的气体动力黏度，单位为帕秒(Pa·s）。
qG2 气体G2通过漏孔的漏率，单位为帕立方米每秒（Pa·m"/s）； qGI 气体G通过漏孔的漏率，单位为帕立方米每秒(Pa·m"/s）； Mc,——气体G的分子质量，单位为千克每摩尔(kg/mol)； MG 气体Gz的分子质量，单位为千克每摩尔（kg/mol)
GB/T 322932015
对于黏滞漏孔，若示踪介质不同，漏率与气体分子量的换算关系按式（A.6)计算
7G 气体G)的动力黏度，单位为帕·秒（Pa·s）； nG 气体G，的动力黏度，单位为帕·秒（Pa·s）。
述条件，还应注意由于温度和压力变化所引起的泄漏通道的尺寸变化。此外DB1503／T 01-2018 矿山排土场连片治理规范，气体流动方向 的影响也很大，如果压力方向与工作方向相反时应格外注意。
GB/T32293—2015
附录B （规范性附录） 真空设备常用检漏方法及主要特征参数
GB/T 322932015
用于真空设备的其他检漏方法及主要特征参
附录C （资料性附录） 真空设备其他检漏方法及主要特征参数
表C.1真空设备其他检漏方法及特征参数
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T／CBDA 18-2018 建筑装饰装修室内吊顶支撑系统技术规程GB/T32293—2015